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  • 產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:USHIO牛尾 布丁タブル圖案化用光源組合“VUV班機”

    • 產(chǎn)品型號:VUV班機
    • 產(chǎn)品廠商:USHIO牛尾
    • 產(chǎn)品價格:0
    • 折扣價格:0
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡單介紹:
    USHIO牛尾 布丁タブル圖案化用光源組合“VUV班機” USHIO牛尾 布丁タブル圖案化用光源組合“VUV班機”
    詳情介紹:

    ****次用燈方式的真空紫外平行光。
    真空紫外光的親水化圖案化方式比以前的リソグラフィープロセス相比大幅縮短工序,實現(xiàn)共同印刷方式不能得到的微細圖案形成實現(xiàn)了。有機晶體管,ウェアラブルセンサー,生物設(shè)備等新領(lǐng)域的實現(xiàn)道路就會打開。此外,新開發(fā)的高亮度脈沖光源(PAT申請中)的平行光化,L / S = 5 / 5μm以下※的解像性能,實現(xiàn)。大面積化的咨詢也請咨詢
    ※使用抗蝕劑:東京応化工業(yè)株式會社制:TArF - P 6111(膜厚260納米)
    固化、粘接
    リソ?パターニング
    改性分解
    清洗
    **、除臭
    MEMS·電子部件
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