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授權(quán)廠家直銷(xiāo) SIMCO思美高靜電消除器 5635型Aerobar MP離子發(fā)生器是一種超低顆粒兼容產(chǎn)品，適用于需要100 nm或更低微粒度管理的場(chǎng)所的靜電消除，包括先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝授權(quán)廠家直銷(xiāo) SIMCO思美高靜電消除器

詳情介紹：

特點(diǎn)

在全球范圍內(nèi)具有****的采用記錄的單晶硅電極避免了由于超低顆粒特性和電極材料而導(dǎo)致金屬污染的風(fēng)險(xiǎn)
通過(guò)原始MP（脈沖調(diào)制）方法將離子有效地帶到目標(biāo)的高效靜電消除
即使在100 mm距離和離子平衡下也可以使用的小電位擺動(dòng)特性，在棒長(zhǎng)度上幾乎沒(méi)有偏差
離子發(fā)生狀態(tài)和離子平衡由智能控制電路自動(dòng)管理
可旋轉(zhuǎn)1/4旋轉(zhuǎn)的可更換電極有助于減少維護(hù)工時(shí)
由于MP系統(tǒng)的特性，潛在的擺動(dòng)非常小，因此設(shè)置簡(jiǎn)單。此外，小電位擺動(dòng)有效地保持了管理標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)的長(zhǎng)期離子平衡
設(shè)置與半導(dǎo)體前端EFEM對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度條
緊湊的24 V DC驅(qū)動(dòng)控制器設(shè)計(jì)
全球范圍內(nèi)提供上等支持網(wǎng)絡(luò)

規(guī)范

型號(hào)5635 AeroBar MP

輸入電壓	24 V DC +/- 10％
輸出電壓	高達(dá)約13.5kv pp可調(diào)
安裝距離	100毫米至1000毫米（無(wú)空氣吹掃）
離子發(fā)生方法	電暈放電方法 MP（脈沖調(diào)制）方法調(diào)制頻率1至33 Hz
離子平衡	自動(dòng)平衡調(diào)整方法 <+/- 10 V由于直接位于條形下方的位置<+/- 10 V （600 mm距離）
電極	單晶硅電極可更換
吹掃氣體	清潔干燥空氣或N 2
*大吹掃壓力	310 Kpa
臭氧量	<0.05 ppm（24小時(shí)積分值）
信號(hào)輸出	報(bào)警IO開(kāi)路集電極輸出
維	高度78 mm x深度34 mm x長(zhǎng)度如下
維	450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350 mm
外觀	ABS樹(shù)脂

擴(kuò)展的ISO Class 1,10 nm？
對(duì)于擴(kuò)展ISO Class1,10nm？這是為了自己的確定級(jí)別的ION系統(tǒng)的清潔度，以應(yīng)對(duì)微小粒子管理的定義。ISO 14644-1定義為*小粒徑為100nm。擴(kuò)展ISO Class1,10nm并且使用顆粒的計(jì)算公式和ISO14644-1及其允許顆粒的數(shù)目的同一允許數(shù)將是1200pc /立方米（34 PC /立方英尺）至少一個(gè)粒徑10nm的

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產(chǎn)品名稱(chēng)：授權(quán)廠家直銷(xiāo) SIMCO思美高靜電消除器

特點(diǎn)

規(guī)范