特點

• 在全球范圍內具有****的采用記錄的單晶硅電極避免了由于超低顆粒特性和電極材料而導致金屬污染的風險
• 通過脈沖DC方法實現(xiàn)廣泛的靜電消除能力
• 由全數(shù)字電路控制，更穩(wěn)定的離子產生和長離子平衡
• 通過安裝5200-SR外部傳感器附近的中和目標（可選），而不是離子發(fā)生器條體，當在中和目標的反饋控制可能的附近的離子平衡（5200-SR未連接，電離器棒體內置傳感器是離子平衡自動調整）
• 設置與半導體前端EFEM對應的長度條
• 可以在很寬的范圍內設置離子發(fā)生輸出，離子發(fā)生時間，報警閾值等各種參數(shù)，實現(xiàn)靈活的通信，如長距離應用和弱氣流環(huán)境
• 僅通過輸入?yún)?shù)的數(shù)值就可以獲得高重復性，并且可以在短時間內設置
• 除了簡單的報警IO之外，還可以通過免費DLL使用進行實時監(jiān)控，有助于掌握過程設備中的狀態(tài)

規(guī)范