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簡單介紹：

重慶直供HUGLE藤宮全自動EUV POD清潔系統成都及西南區客戶共享資源重慶內藤機械設備有限公司重慶直供HUGLE藤宮全自動EUV POD清潔系統成都及西南區客戶共享資源

詳情介紹：

它是用于EUV暴露的EUV POD的全自動清潔裝置，這是新的曝光技術。除了拆卸/重新組裝內部POD和外部POD之外，每個POD都使用單獨的專用CH進行清潔/干燥。
完全無人值守的操作也是可能的。
采用獨特的清潔/干燥技術實現納米級顆粒去除30年，作為半導體設備容器清潔設備制造商。

-足跡設計
，專有清洗技術通過超精密清洗
和高效的干燥系統完全干燥實現通過
，全自動POD開放的交叉污染預防由
-RSP200兼容
機器人手自清潔系統內置
-獨立專用室**

裝置主體：1230（寬）×2900（深）×2300（高）毫米（不包括突起）

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