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產品詳情
簡單介紹:
NOVX型號3350/3360系列可以根據傳感器處電勢的測量結果對離子發生器進行離子平衡控制,還可以記錄和報告實時電勢變化,因此可以準確地控制電勢。非常適合需要嚴格靜電管理的硬盤制造工藝和半導體制造工藝。
詳情介紹:
特征
■與 ION Systems 型號 5802/5810/5822 結合使用時,可實現多個(*多 3 個通道)離子發生器的離子平衡控制 +/-1v 控制
■型號 3360 可測量衰減(靜電消除時間)
■報警閾值 可任意設定
■兼容RS-485或以太網通訊
■采用數字處理電路,可任意設定,避免尖峰噪聲信號檢測到報警。
規格
Model3350/3360控制器
輸入電壓 |
+/-12V、+5V DC 由附帶的電源提供。 電源輸入電壓 AC100-240V, 50/60Hz |
---|---|
*大連接傳感器數量 | 3 |
離子發生器離子平衡輸出 | 3個頻道 |
電位檢測范圍 | +/-100v |
準確性 | +/-0.1v |
報警設定點 | 任何 |
零電壓調整 | 任何 |
衰減測量功能 | ** 3360。3個頻道 |
溝通 | RS-485 或EthernetIO(集電極開路) |
尺寸 | 寬44毫米×高152毫米×深154毫米 |
重量 | 0.82公斤 |
外部的 | 不銹鋼 |